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    真空炉真空系统如何操作

    2020-06-08

      真空炉真空系统如何操作呢?大家在操作该设备之前可以先看下如下分享,相信对大家操作真空炉真空系统是有帮助的。
      1、罗茨泵启动
      打开前级阀,关闭主阀和预抽阀,用按钮启动机械泵,当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时,比如小于2kPa,启动罗茨泵。
      2、预热扩散泵
      主阀和预抽阀仍处于关闭状态,前级泵机组对扩散泵抽真空,当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时,比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。
      3、预抽炉内真空
      先关前级阀,并停止罗茨泵,稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时,再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气,使之达到预抽真空度。
      4、抽高真空
      炉内真空度达到或高于规定值,且扩散泵加热时间到,先关预抽阀,然后开高真空阀,对炉内抽高真空,直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度,才进行下一步操作。真空系统的关闭步骤相对比较简单,当炉子温度减低到可关真空系统的要求时,关闭主阀,接着关闭扩散泵加热器,但前级阀不能关闭,前级泵机组仍然工作,直到扩散泵加热器冷却时间到,才依次关闭前级阀和前级泵机组。
      以上即是真空炉真空系统的操作方法,大家选购好设备之后可以先了解一下操作方法,方便后期更快的投入使用。

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